كانت معظم أراضي الأوقاف في العهد العثماني خلال القرن السادس عشر الميلادي وذلك خلال حكم السلطان سليمان القانوني، وكانت تتكون بداية من الأراضي الأميرية التي حددها السلطان سليمان ومن تبعه من السلاطين بالإضافة إلى الأراضي التي خصصها بعض الأغنياء أو الأراضي التي أوقفها بعض الفلاحين وخاصه بعد صدور التنظيمات للتهرب من دفع الضرائب والرسوم.
وقد أعانت أراضي الأوقاف خلال القرنين السابع عشر والثامن عشر من الفوضى والفساد الذي لحق بأجهزة الدولة بشكل عام فقد تسلم إدارة الأوقاف أشخاص غير مؤهلين لذلك، فحاولت الدولة الحد من هذه الفوضى والفساد وذلك بأن أصبحت المسؤول المباشر عن أراضي الأوقاف ومع ذلك استمر الفساد وحال دون تطبيق هذه الإجراءات نتيجة لإهمال القائمين على الأوقاف، إذ قام الكثير من النظار بتحويل أملال الأوقاف إلى أملاك خاصة، وتسجلها في سجلات التمليك ملكا لهم، ثم انقلبت لورثتهم ولمن ابتاعها منهم وكان ذلك يتم بمعرفة دائرة الأوقاف.